隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，芯片制造工藝日益精細(xì)化、復(fù)雜化。然而，在晶圓加工、蝕刻、拋光、清洗等關(guān)鍵環(huán)節(jié)中，會(huì)產(chǎn)生大量高鹽度、高純度要求、含重金屬及有機(jī)污染物的生產(chǎn)廢水。本文將介紹一家專注芯片制造廢水處理的環(huán)保公司——蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司，看他家是怎么處理這類廢水的。

蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環(huán)保企業(yè)，于2011年在蘇州工業(yè)園區(qū)正式成立，致力于為芯片制造廢水處理提供完整的循環(huán)利用及零排放解決方案，業(yè)務(wù)板塊涵蓋EPC工程、提標(biāo)改造、污水站運(yùn)維等。依斯倍工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于表面處理電鍍、汽車制造、涂裝生產(chǎn)線、新能源新材料、電子半導(dǎo)體、航空船舶、金屬加工等行業(yè)。

一、芯片制造廢水的主要來源與特性

1. 清洗廢水：占芯片廠廢水總量的70%以上，來源于晶圓清洗、設(shè)備沖洗等環(huán)節(jié)，水中含有微量金屬離子（如銅、鎳、銀）、酸堿殘留物及超純水中的硅、硼等雜質(zhì)。

2. 蝕刻廢水：主要來自濕法蝕刻工藝，含有高濃度氫氟酸（HF）、硝酸（HNO?）等強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)，以及鋁、鎢等金屬離子。

3. 電鍍廢水：用于銅互連、焊球等工藝，含有高濃度重金屬如銅、鎳、錫等。

4. 研磨/拋光廢水：含有二氧化硅（SiO?）微粒、研磨劑、潤滑劑等懸浮物。

5. 超純水制備濃水：反滲透（RO）或EDI系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水，含鹽量較高但污染物種類相對(duì)單一。

二、芯片制造廢水處理技術(shù)

1. 分類收集與分質(zhì)處理

源頭分類：將含重金屬、含氟、有機(jī)廢水、酸堿廢水等分別收集處理，避免交叉污染。

預(yù)處理單元：

含氟廢水 → 石灰沉淀+混凝氣?。?

含重金屬廢水 → 化學(xué)沉淀+離子交換；

有機(jī)廢水 → 臭氧氧化+生化處理；

高純度濃水 → 回收至原水系統(tǒng)或蒸發(fā)濃縮。

2. 物理化學(xué)處理

混凝沉淀/氣?。哼m用于去除懸浮物、膠體及部分重金屬。

高級(jí)氧化：Fenton、臭氧、UV/H?O?等技術(shù)可有效降解難生物降解有機(jī)物。

離子交換與吸附：用于深度去除痕量金屬離子，保障回用水質(zhì)。

3. 膜分離技術(shù)

超濾（UF）：作為反滲透前處理，去除大分子有機(jī)物和微粒。

納濾（NF）：脫除部分鹽分和小分子有機(jī)物，適合用于軟化和脫色。

反滲透（RO）：高效脫鹽并去除溶解性污染物，出水可回用于清洗、冷卻等工藝環(huán)節(jié)。

電去離子（EDI）：結(jié)合RO后可用于生產(chǎn)超純水，滿足高端芯片制造需求。

在芯片制造日益精密化的背景下，芯片制造廢水處理與循環(huán)利用已成為企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色轉(zhuǎn)型、降低運(yùn)營成本、提升市場競爭力的重要抓手。企業(yè)應(yīng)從源頭控制、過程優(yōu)化到末端治理全過程入手，積極引入先進(jìn)技術(shù)和管理手段，打造科學(xué)高效的水循環(huán)利用體系。唯有堅(jiān)持綠色發(fā)展道路，才能在激烈的全球半導(dǎo)體競爭中實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與生態(tài)效益的雙贏。